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石墨板在半导体的应用
发布时间:2025-06-27   浏览:74次
石墨板在半导体的应用

石墨板在半导体行业中具有多种重要应用,主要得益于其优异的导热性,耐高温性,化学稳定性和导电性。

高温工艺中的承载与加热

饰刻工艺的电极与部件

单晶硅生长

在单晶硅棒制造中,石墨板用于加热器,隔热屏或坩埚支撑部件,承受高温并维持热场均匀性。

散热管理

石墨板的高导热性

真空环境下的结构材料

在半导体设备中,石墨板用于真空腔体内支架或屏蔽组件,因其低放弃率和耐高温特性

石墨板的优势

高纯度  热稳定性 化学惰性 轻量化 

石墨板在半导体制作中是不可或缺的关键材料

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