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新闻资讯
——石墨板在半导体行业中具有多种重要应用,主要得益于其优异的导热性,耐高温性,化学稳定性和导电性。
高温工艺中的承载与加热
饰刻工艺的电极与部件
单晶硅生长
在单晶硅棒制造中,石墨板用于加热器,隔热屏或坩埚支撑部件,承受高温并维持热场均匀性。
散热管理
石墨板的高导热性
真空环境下的结构材料
在半导体设备中,石墨板用于真空腔体内支架或屏蔽组件,因其低放弃率和耐高温特性
石墨板的优势
高纯度 热稳定性 化学惰性 轻量化
石墨板在半导体制作中是不可或缺的关键材料
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