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——石英坩埚具有纯度高、耐高温、尺寸精度高、保温性能好、节能、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚的检测是一个非常重要的环节,石英坩埚的检测正朝着现场检测的方向发展。
石英坩埚是由熔融硅粉制成的,它不仅工艺难度大,而且对高纯石英的性能也有很高的要求。让我们来看看哪些方面的要求很高。
1.应要求熔融石英材料的纯度,特别是杂质元素含量的某些方面,这会导致熔融石英陶瓷的结晶,并影响石英坩埚的高温性能。
2.石英坩埚是太阳能电池用多晶硅铸锭炉的关键部件。作为一个装载多晶硅原料的容器,它在1550℃连续工作50小时以上,熔化和生长 晶体,然后用来制造太阳能电池用多晶硅锭。因此,使用条件非常苛刻,对坩埚的纯度、强度、外观和内部质量、高温性能、尺寸精度 等都提出了非常严格的要求。这些对坩埚性能的要求与熔融石英材料的质量密切相关。
3.有关研究表明,在多晶硅铸造过程中,坩埚中容易引入氧杂质。如果形成热施主或氧沉淀,硅材料的少部分载流子寿命就会降低,这将 直接影响太阳能电池的光电转换效率。因此,在一定程度上要求以熔融石英为主要原料的纯度,特别是所用石英材料不能含 有气泡。
4.目前石英坩埚的主要质量隐患是开裂(或炸裂),这就要求石英熔体制造商提供质量和性能稳定一致的产品,以确保石英熔融制成的 石英坩埚具有高质量和可靠性。石英坩埚可在1450度以下使用,可分为透明坩埚和非透明坩埚。电弧法半透明石英坩埚是绘制大直径 单晶硅和发展大规模集成电路不可缺少的基本材料。
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